Mini Line 微型
PEALD&CVD联合镀
CIGS太阳能电池镀膜
桌面型真空退火炉-RTA
PECVD&RIE联合系
反应离子刻蚀（RIE/I
KLA表面轮廓仪
EVG EUROPE光刻
SUSS光刻机
在线式X射线荧光分析仪
桌面式X射线荧光分析仪
真空位移台MB20
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低能电子枪，FRA-2X
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