技术参数：
1 基片尺寸：2 ~ 8英寸；
2 最大加热温度：1200℃；
3 温度扫描速率：200℃/s；
4 温度重复性：±3℃；
5 温度精度：±3℃；
6 热壁腔体设计；
电话：0755-28485351
邮箱：info@hightrendtech.com
地址： 深圳市龙岗区坂田街道坂田社区坂雪岗大道3010号3层352室
