在线式X射线荧光分析仪

SMX-ILH专利的热屏蔽技术可使热基板在高达300˚C下实时进行X射线荧光数据采集，减少面板的停留时间，提高加工能力。由于采用一个专门设计的Z轴高度调节功能装置，该系统能够适应大型面板中经常出现的平面性差异（弓起和卷曲）等问题，从而进一步提高了测量精度和结果，尤其是在较高的温度下。

• 成分和层厚分析
• 材料选择，薄层配方
• 在线及离线过程控制
• 良率管理

应用领域：

• 光伏制造过程
• 微电子制造
• 防腐蚀涂层
• 热障涂层
• 能源（CIGS， CIS，电池）