Mini Line 微型器件平台

为克服器件制造的设备空间限制，矽碁科技开发出适合2英寸晶圆的小型半导体制造平台-Mini Line，配置灵活，占地面积小，运行成本低。适用于科研和企业用户教学和小批量器件制造。

优势：

1 设备成本低；

2 运行能耗低；

3 占地面积小；

4 制造效率高；

5 配置方式灵活；

可集成设备清单：

1 多靶枪磁控溅射

2 电子束蒸发

3 热蒸发

4 PECVD

5 RIE

6 PEALD

7 ALE

8 Annealing

9 Plasma treatment