KLA表面轮廓仪

本公司新到一批二手TLA Tencor® P-17表面轮廓仪，机台成色新（8-9成新），状态好，价格合适，售后服务完善。欢迎垂询！

产品描述

Tencor P-17是第八代台式探针式轮廓仪，它凝结了逾40年的表面量测经验。该行业领先的系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达200mm，无需拼接。

出色的测量稳定性通过结合UltraLite^® 传感器、恒力控制和超平扫描样品台实现。通过使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程式。Tencor P-17探针式轮廓仪支持2D或3D测量，可使用多种滤波、调平和分析算法来测量表面形貌。通过图形识别、序列和特征检测实现全自动测量。

特征

1. 台阶高度：纳米级到1000微米
2. 恒力控制：0.03至15mg
3. 无需拼接即可扫描样品的全直径
4. 视频：5MP高分辨率彩色相机
5. 弧形校正：可消除探针的弧形运动引起的误差
6. 软件：简单易用的软件界面
7. 生产能力：具有测序、图形识别和SECS/GEM功能的全自动测量

应用

1. 台阶高度：2D和3D台阶高度
2. 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度
3. 形状：2D和3D翘曲形状
4. 应力：2D和3D薄膜应力
5. 缺陷检测：2D 和 3D 缺陷表面形貌

工业

• 高校、实验室和研究所
• 半导体和化合物半导体
• LED：发光二极管
• 太阳能
• MEMS:微机电系统
• 数据存储
• 汽车
• 医疗器械