有机物蒸发镀膜机

利用优异保温效果的坩埚实现有机物材料的稳定蒸发，同时借助超高精度的石英晶振达到蒸发速率的最精确控制，矽碁科技可提供性能稳定的有机物蒸发镀膜机，主要用于有机物材料验证，OELD器件镀膜机，OPV器件镀膜机，有机CMOS镀膜机等。

技术参数：

1 本底真空10^-7 Torr；

2 电极蒸发束源炉，金属坩埚，金属电极式蒸发舟等；

3 IC6-光学镀膜等级石英晶振测量膜厚；

4 与手套箱连接

5 Mask对准功能，机械对准或者CCD对准