等离子体增强原子层沉积（PEALD）

• 可编译全自动一键式工艺操作
• 等离子体增强模式和热模式共存
• 紧凑友好人机交互设计
• 高性价比原子层沉积
• 产品描述：等离子体增强原子层沉积，Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition，PEALD 原子层沉积，Atomic Layer Deposition，ALD
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