OLED小分子成膜工艺

真空电阻加热蒸镀是OLED器件中小分子成膜的主要技术，原理：电阻加热是将有机物坩埚置入真空镀膜机中，通过对坩埚内部的电阻丝通电加热使得坩埚中的有机材料得以蒸发，然后向放置好的基板附着并形成薄膜，适合制备的薄膜厚度一般都在10nm-200nm。除了有机物蒸发之外，真空蒸镀设备也适合做一些金属电极的蒸发。

相关产品连接：http://www.hightrendtech.com/cn/product/product-Syskey-OLED.html

*以上图片转载自OLEDindustry微信公众号

台湾矽碁科技有超过十年以上的OLED Cluster制造经验，可以提供各种定制OLED Cluster R&D设备。

相关产品连接：http://www.hightrendtech.com/cn/product/product-Syskey-OLED.html