技术参数:
1 能量范围:0 eV ~ 3 keV;
2 工作距离:25 mm ~ 100 mm;
3 偏转角度:±1° @ 5 keV;
4 束流:最大 20 μA;
5 束流均匀性:< 5%;
6 束斑尺寸:5 mm ~ 25 mm;
7 离子种类:Ar+;
8 灯丝材料:钨铼合金;
Ar离子枪产品介绍
碱金属离子枪,IGS-4
碱金属离子枪,ILG-6
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