氩离子枪

技术参数：

1 能量范围：0 eV ~ 3 keV；

2 工作距离：25 mm ~ 100 mm；

3 偏转角度：±1° @ 5 keV；

4 束流：最大 20 μA；

5 束流均匀性：< 5%；

6 束斑尺寸：5 mm ~ 25 mm；

7 离子种类：Ar＋；

8 灯丝材料：钨铼合金；

Ar离子枪产品介绍